Aera FC-PA7820C MFC regulator przepływu NF3 30SLM 30000SCCM CVD

Używany regulator masowego przepływu gazu marki: Aera, model: FC-PA7820C, zdemontowany z linii CVD. Jest to precyzyjny Mass Flow Controller przeznaczony do kontroli przepływu gazów procesowych w instalacjach technologicznych, próżniowych, półprzewodnikowych, CVD / PECVD, systemach dozowania gazów, reaktorach procesowych oraz stanowiskach badawczych.

Regulator jest skonfigurowany dla gazu NF3, czyli trifluorku azotu, często stosowanego w technologiach CVD / PECVD jako gaz procesowy lub czyszczący. Zakres nominalny urządzenia wynosi 30 SLM / 30000 SCCM dla NF3. Na etykiecie kalibracyjnej podano gaz NF3 ze współczynnikiem 0,479 oraz kalibrację odniesioną do azotu N2. Oznaczenie modelu: TC FC-PA7820C, numer seryjny C100224052.

Jako Mass Flow Controller urządzenie nie tylko mierzy przepływ, ale również steruje zaworem regulacyjnym wewnątrz modułu, utrzymując zadany przepływ gazu. Może pracować jako element wykonawczy w instalacji, gdzie sterownik nadrzędny zadaje przepływ, a MFC sam reguluje zawór tak, aby utrzymać wymaganą wartość. Tego typu regulatory stosuje się do dozowania gazów reakcyjnych, gazów czyszczących, gazów osłonowych i mieszanin procesowych.

Na obudowie znajdują się przyłącza gazowe procesowe VCR 3/4'', złącze elektryczne D-Sub oraz dwa złącza komunikacyjne / serwisowe typu RJ. Na etykiecie widoczne jest również oznaczenie DNet F/W: N/A, dlatego przed zakupem należy sprawdzić wymagany sposób sterowania i kompatybilność z posiadanym kontrolerem. Urządzenie pochodzi z linii CVD, gdzie pracowało w instalacji gazów ultraczystych.

Element może być wykorzystany jako część zamienna do systemu CVD / PECVD, instalacji gazów ultraczystych, stanowiska dozowania gazów, układu próżniowego, reaktora technologicznego albo jako specjalistyczny moduł do testów i kalibracji przepływu gazów.

Wszystkie zdjęcia w naszych aukcjach zostały wykonane przez nas i dokładnie prezentują, właśnie ten, sprzedawany element ! Nie są to zdjęcia przykładowe, pobierane z katalogu lub od producentów. Prezentujemy na zdjęciach dokładnie to co sprzedajemy !

Magazyn: L5-R21-P2