Aera FC-7710CD MFC Regulator przepływu masowego Argon Ar 40 SLM CVD

Używany regulator masowego przepływu gazu marki: Aera, model: FC-7710CD, Mass Flow Controller, skalibrowany dla argonu Ar, zakres 40 SLM / 40000 SCCM. Element został zdemontowany z linii argonu w instalacji CVD, gdzie pracował z gazem procesowym Ar.

Jest to precyzyjny regulator przepływu masowego przeznaczony do dozowania i stabilizacji przepływu gazu w instalacjach technologicznych, próżniowych, półprzewodnikowych, laboratoryjnych i procesowych. Może być stosowany w liniach CVD, PECVD, ALD, PVD, systemach gazów procesowych, stanowiskach próżniowych, reaktorach, komorach procesowych, aparaturze badawczej oraz układach dozowania gazów technicznych i ultraczystych.

Model FC-7710CD posiada wbudowany czujnik przepływu oraz zawór regulacyjny, dzięki czemu może nie tylko mierzyć przepływ, ale również aktywnie utrzymywać zadany przepływ gazu. Sterowanie odbywa się sygnałem analogowym 0–5 V DC, a sygnał wyjściowy przepływu również dostępny jest jako 0–5 V DC. Na obudowie znajduje się opis pinów złącza D-Sub 9-pin, obejmujący m.in. zasilanie ±15 V DC, common, case ground, control 0–5 V DC, output 0–5 V DC oraz funkcje sterowania zaworem valve open / valve close / valve test.

Parametry egzemplarza: Aera FC-7710CD, zakres 40000 SCCM, gaz Ar, kalibracja dla argonu, oznaczenie 40 SLM Ar, numer seryjny C100412032, fitting 4V. Na etykiecie kalibracyjnej podano również współczynnik dla N2: N2 CF 1.410 oraz przeliczone przepływy N2: 100% 29594,800 SCCM i 50% 14534,800 SCCM.

Wszystkie zdjęcia w naszych aukcjach zostały wykonane przez nas i dokładnie prezentują, właśnie ten, sprzedawany element ! Nie są to zdjęcia przykładowe, pobierane z katalogu lub od producentów. Prezentujemy na zdjęciach dokładnie to co sprzedajemy !

Magazyn: L5-R24-P4